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蔡司半導體技術上場

創新的精準光學技術

儲存媒體及處理器或晶片的性能不斷提升,它們對於人類生活的影響力亦持續擴大。精準光學技術可在最小的表面上提供精準性,而半導體工業的晶片製造廠十分倚重蔡司的頂尖鏡片來用於微影光學之上。由此可見,蔡司的光學科技是串接晶片生產的重要核心。  

蔡司半導體技術上場

上圖顯示微影鏡片。一位蔡司員工手握著一個反映其臉部的晶圓

假如具備現今專業技術的人士回顧Carl Zeiss和Ernst Abbé創立本公司的時代,他們定會發現精準光學是一項關鍵技術。

基礎研究的發展不斷往當時的極限方向逐漸擴大,因此,基礎研究所需的製造方法以及製造方法所需的光學儀器,也必須進一步發展才能跟上腳步。「蔡司始終站在最前線」。

在越來越小的媒體上儲存越來越多的資訊,以越來越快的速度將資料傳輸到各種可能的位置,這迫使微電子業不得不採用結構越來越小且密度越來越高的電子組件。

晶片現在的尺寸已在100 nm(=微米的十分之一)的範圍內,而按目前的發展的我們還是看不到終點。在串接微晶片生產這領域,品質和製作過程控制都特別需要跟上這行業的發展腳步,而在這範疇上若沒有蔡司光學系統的協助是不可行的。

控制很重要…

如果在曝光期間發生所謂的光罩錯誤,並在大量生產的過程中轉移到晶片上,這必定會導致整批產品出現毛病。假如已製造數以千計有問題的晶片之後才發現上述錯誤,這對生產力和成本所造成的影響可能是大得令人無法想像的。
因此,工廠必須具備盡早發現並修正錯誤的能力。當晶片體積越小且功能越強時,這種能夠在大量生產之前先充分徹底地檢查光罩有沒有像差的能力亦變得更加重要,而頂尖性能的鏡片正正具備此能力。

 

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